Течь может определяться как расщелинка или трещинка в системе, через которую все же просачивается газ, хотя система должна быть герметичной. Размер течи определяется указанием количества газа (выраженного в объеме), выходящего из течи за одну секунду. Поток газа появляется в канале, если между противоположными его концами сохраняется разность давлений. Способность канала пропускать поток газа также зависит и от его геометрических характеристик. Поэтому вводится такая величина как проводимость. Проводимость - это соотношение между потоком газа и разностью давлений между противоположными концами канала: C = Q / (p1 - p2), выражается в м3 / с или л / с.

Идеальное уравнение газов выражается с помощью формулы:

 

Где n - количество молей газа, содержащихся в объеме V при давлении p и абсолютной температуре (в градусах Кельвина [K]), а R - постоянная газов (8.31441 j · mol-1 · K-1). Таким образом, если давление в системе константно, выводим уравнение, в котором поток зависит от изменения объема газа, от давления и времени:

Течь (Q) в соответствии с Международной системой (SI) измеряется в Pa · м3 / с. Допустимой единицей измерения потока в соответствии с SI является также mbar · l / s, поскольку она кратна предыдущей единице измерения.


1 mbar·l/s = 10-1 Pa·m3/s (1 Pa = 10-2 mbar und 1 м3 = 103 л)

В случае с mbar .L / s утечка Q = 1 mbar · л · с-1, если в закрытой и вакуумированной камере объемом 1 литр давление увеличивается за 1 секунду на 1 mbar или , в случае избыточного давления в камере, уменьшается на 1 mbar.

Все же такое возможно, что иногда значение утечки выражается иначе нежели в единицах измерения международной системы. В таком случае рекомендуется преобразовать эти значения в Pa · m3 / s или mbar · l / s.

Специфический пример можно найти в секторе хладагентов, где значения утечки охлаждающей жидкости выражены в граммах в год (г / год). Массовый поток в этом случае преобразуется в г / Моль, а затем Моль / с и, наконец, в газообразный поток. Ниже приведена таблица соответствия массового и эквивалентного ему газового потока с указанием соответсвующих значений г / год важнейших хладагентов и других газов в эквивалентные номинальные потоки гелия в mbar · л / с.

Преобразование из потока по весу (г / год) в эквивалентный поток гелия (мбар · л / с) может быть достигнуто путем простого умножения г / год на соответствующий коэффициэнт: