Zaverio Lazzero был активным участником мероприятий, организованных AIM (Итальянской ассоциацией металлургии) в качестве преподавателя по теме «Инновации в системах оценки испытаний на герметичность с давлением».


 

Lazzero и проекты Евросоюза:


EMRP 2010 Joint Research Project Protocol (совместный исследовательский проект),


JRP14i Vacuum metrology for production environments (вакуумное измерительное оборудование для применения на производстве)

 

LAZZERO Tecnologie S.r.l. участвует в Исследовательской программе, организованной Европейским Союзом, которая называется "EMRP 2010 Joint Research Project Protocol, JRP14i Vacuum metrology for production environments".

Опубликовынный отчет для проекта JRP IND12 Vacuum
Vacuum metrology for production environments (вакуумное измерительное оборудование для приминения на производстве)

Краткое описание проекта:

Вакуум как важный и незаменимый инструмент для многих промышленных процессов мало характеризуется и прослеживается в практических применениях. В прошлом основное внимание уделялось установлению стандартов для полного давления для чистых газов в стабильных условиях и для вторичных утечек. Для современных требований, в промышленном применении этого уже недостаточно. В этом проекте JRP будут установлены стандарты для парциальных и динамических давлений, поскольку эти величины необходимо измерять для контроля промышленных процессов. Необходимость отследить утечку также должна учитываться в промышленности. Если прослеживаемость, соответстующая стандарам, невозможна, стандартизация поможет промышленности сделать сопоставляемые измерения доступными. Исследования будут проводиться как для установления стандартов, так и для облегчения процесса стандартизации. Эти исследования приведут к созданию динамического давления и установят прослеживаемость для парциального давления, скорости дегазации и измерения скорости утечки в промышленности.

Проект

Вакуум является важным и незаменимым инструментом для промышленности и  примененяется как в полупроводниковой, фотоэлектрической и энергетической промышленности, так и в упаковке пищевых продуктов, и это лишь несколько примеров.

Первичные и вторичные стандарты для полного давления вакуума относительно хорошо установлены во всем мире. Эти стандарты измерений обеспечивают возможность распределения показателей шкалы абсолютного давления ниже атмосферного давления для чистых газов (главным образом азота) и в уравновешенном или неизменном состоянии.

В индустрии, однако, очень редко работают с чистыми газами (например, физическое и химическое газообразное напыление ) и часто работают в неустойчивых условиях (например, нанесение металлического покрытия на CD / DVD), где давление динамически меняется. Кроме того не существует понятного или сопоставимого метода измерения скорости дегазации, чтобы полностью охарактеризовать материал, который является частью или встроен в вакуумную камеру (например, EUV-литография).

Еще одним аспектом промышленной вакуумной метрологии является течеискание и тестирование материала. Измерения утечек очень важны во многих отраслях промышленности (холодильные установки, системы кондиционирования, где утечка должна соответствовать требованиям, например, DIN 8964 и EN 14091, упаковка токсичных, радиоактивных и загрязняющих окружающую среду веществ). Однако утечки обычно возникают в условиях, отличных от условий, используемых для калибровки: Различные давления, температуры и температурные градиенты, виды газа и смеси или даже жидкость протекает через течь вместо газа. Исследования необходимы индустрии для понимания процессов в реальных условиях.

В этом проекте JRP будут установлены стандарты измерения для парциального и динамического давлений. Если наличие стандартов измерения невозможно, сопоставимые измерения поможет сделать доступными типизация промышленности. Исследования будут проводиться как для установления стандартов измерений, так и для унификации процессов. Эти исследования приведут к созданию динамического давления и установят прослеживаемость для парциального давления, скорости дегазации и измерения скорости утечки в промышленности.

Научно-технические цели:

Иновационная динамическая вакуумная калибровочная установка

- установка вакуумной системы с очень быстрой сменой давления в грубом вакууме (от 100 кПа до 100 Па за 1 секунду)

- Предоставление «ab initio» -метода для прогнозирования давления <100 кПа со временем (теоретическая, имитационная работа) с точностью не менее 50%

- возможность обнаружения очень быстрых изменений давления (2,7 мс и 100 Па и 15 мс и 3 Па) с помощью подходящих вакуумных датчиков с одновременным измерением быстрых перепадов температуры

- Первые выводы о пригодности оптических методов для обнаружения быстрых изменений давления, основанные на экспериментальном научном исследовании.

- Данные о времени отдыха вакуумных датчиков при быстрой смене давления. Квалификация подходящих датчиков при изменении динамического вакуумного давления.

Улучшение измерений течей и тестирование в промышленности

- Предоставление методов, более подходящих для измерений утечки в реальных условиях, например, это касается реальных параметров газа и давления

- Предоставление методов изменения условий для получения дополнительной информации об утечках, обеспечивающих лучшее внедрение в промышленные условия

- Спецификация альтернативных методов, отличных от масс-спектрометрических течеискателей, для обнаружения утечек в течение 1 секудны или менее (динамические измерения)

- Поставка практического руководства по метрологическим характеристикам коммерческих течеискателей

Обеспечение прослеживаемости для измерения парциального давления в промышленности

- Определение ключевых параметров (влияющих на чувствительность для различных газов), необходимых для калибровки СМК (система менеджмента качества)

- Информация о временной устойчивости метрологических характеристик промышленной СМК и факторах, влияющих на эту стабильность

- Установление стандарта для калибровки СМК от 10-8 Па до 10-2 Па.

- Предоставление методов калибровки «in-situ» для измерения расхода газа в промышленных системах с использованием СМК

- Предоставление проекта стандартизации калибровки СМК (ISO TC 112)

- Предоставление методов для сравнения результатов, полученных с СМК от разных производителей

- Предоставление технико-экономического обоснования, включая экспериментальные испытания альтернативных оптических методов измерения парциального давления, таких как диодная лазерная спектроскопия (TDLAS), спектроскопия cavity ring down (CRDS) или ИК-спектроскопия с преобразованием Фурье для измерения и контроля технологических газов в среднем и высоком вакууме.

Обеспечение прослеживаемости  промышленного измерения значений дегазации и характеристики материала

- Обеспечение и тестирование применимого в промышленности метода измерения скорости дегазации от 10-8 Па л /сек до 10-1 Па л/ сек. Оценка процента неопределенности для этого измерения скорости дегазации.

Неопределенности между 10% и 20% (в зависимости от диапазона)

- Установление ключевых параметров, подходящих для отслеживания этого метода измерения скорости дегазации

- Предоставление справочных материалов для проверки измерений скорости дегазации в промышленных условиях

- Выводы по сопоставимости различных методов дегазации с точки зрения надежности, точности и практичности для промышленности

- Предоставление проекта стандартизации приемлемого метода дегазации (ISO TC 112)

JRP начало и длительность проекта : сентябрь 2011, 36 месяцев
JRP-координатор: Dr Karl Jousten, PTB 
JRP-партнеры:
JRP-партнер 1 PTB, Германия
JRP-партнер 2 INRIM, Италия
JRP-партнер 3 IMT, Словения
JRP-партнер 4 LNE, Франция
JRP-партнер 5 CMI, Чешская Республика
JRP-партнер 6 CEM, Испания
JRP-партнер 7 UME, Турция
JRP-партнер 8 INFICON Ltd, Лихтенштейн
JRP-партнер 9 VACOM GmbH, Германия
JRP-партнер 10 Danfoss A/S, Дания
JRP-партнер 11 Lazzero Tecnologie S.r.I, Италия
JRP-партнер 12 INFICON GmbH, Германия
REG-исследователь Vincenzo Ierardi, Италия(Associated Home Organisation): Уневерситет Генуи, Италия